Ce bâti de MBE a été spécialement étudié pour le dépôt de nitrures.
Conçu dans une technologie MBE de pointe, l’ensemble intègre jusqu’à 9 cellules convergentes sur le substrat (dont 5 avec cache ) et permet d’intégrer notamment un RHEED, un éllipsomètre, un réflectomètre
L’enceinte d’évaporation de diamètre 450 mm intègre un panneau cryogénique de façon à limiter toute montée de pression à proximité
du substrat lors de la phase de dépôt
Un très grand nombre de brides (>30 au total) permettent de connecter les sources et l’instrumentation de contrôle nécessaires pour obtenir une grande homogénéité de couches.
AMES 400
Dépôt MBE tous éléments métalliques
Ce bâti de MBE est conçu pour le dépôt de tout élément métallique, en particulier Al, Cr, Mn, Fe, Fe57, Ni, Co, Cu, Ag, Au, Pd, Si, Mo.
Conçu dans une technologie MBE avancée, l’ensemble peut intégrer 5 cellules d’évaporation et jusqu’à 2 canons à électrons multi-creusets.
Une source d’entrée de gaz permet de travailler en atmosphère oxydante et 3 balances à quartz permettent d’assurer un contrôle optimal des couches épitaxiées.
L’enceinte d’évaporation de diamètre 450 mm intègre un panneau cryogénique.
Un très grand nombre de brides (20 au total) permettent de connecter les sources et l’instrumentation de con trôle nécessaires pour obtenir une grande homogénéité de couches.