Systèmes ultravide
- Systèmes pour le dépôt de couches minces : MBE,
pulvérisation cathodique, ablation laser, CVD
- Systèmes pour l’instrumentation scientifique :
analyse de surface, chambres d’analyse, synchrotrons,…
- Systèmes de transfert sous ultravide
Manipulateurs porte échantillons ultravide complexes
Pompes ioniques
Composants ultra vide
- Chambres à vide
- Outils de transfert
- Sources de dépôt
- KF, K, F, CF
Engineering du vide
- Fabrications sur cahier des charges