Le groupe de pompage d’un système sous vide doit être choisi en fonction des applications menées dans ce système, de la pression limite demandée et du temps maximum nécessaire pour atteindre cette pression.
Fort de notre expérience dans les technologies du vide et de l’Ultravide, nous proposons une gamme de pompes performantes et fiables permettant d’atteindre toutes les gammes de pression allant du vide primaire jusqu’à l’Ultravide.
Cette gamme de pompe se décline en trois catégories :
- Les pompes primaires comprenant les pompes à membranes, les pompes à palettes et les pompes sèches
- Les pompes turbomoléculaires pour le pompage secondaire
- Les pompes ioniques pour l’Ultravide
La gamme de pompes primaires comprend des pompes à palettes, séches et à membranne pour les applications en technologies du vide et de l'ultravide les plus courantes et non corrosives.
Les pompes primaires à palettes é étages sont lubrifiées et se montent sur des brides KF. Trois modèles sont proposés :
- Pompe primaire à palettes 2 étages 6 m3/h
- Pompe primaire à palettes 2 étages 9 m3/h
- Pompe primaire à palettes 2 étages 16 m3/h
Les pompes primaires sèches présentent l'avantage de fonctionner sans lubrification, ce qui élimine tout risque de contamination des systèmes sous vide et une maintenance moins contraignante que les pompes à palettes.
Les pompes sèches proposées sont de type scroll :
- Pompe primaire sèche Scroll 12 m3/h
- Pompe primaire sèche Scroll 25 m3/h
Pour les applications nécessitant une vitesse de pompage plus faible et une pression limite dans la gamme du mbar, nous proposons une pompe à membrane de 1,5 m3/h de débit.
La gamme de pression entre 10-6 mbar et 10-10 mbar est atteinte par des pompes turbomoléculaires. Nous proposons des pompes turbo avec un fort taux de compression sur les gaz légers pour améliorer la pression limite :
- Pompe turbo 80 L/s
- Pompe turbo 300 L/s
- Pompe turbo 500 L/s
Enfin, pour les applications Ultravide (pression inférieure à 10-10 mbar), Meca 2000 fabrique depuis plus de 20 ans des pompes ioniques ultra performantes qui se déclinent en 4 catégories :
- Les pompes ioniques diodes
- Les pompes ioniques diodes pour gaz nobles
- Les pompes ioniques à sublimation de titane
- Les pompes ioniques à sublimation de titane pour gaz rares
Ces pompes ioniques sont alimentées par des alimentations hautes tension à 1 ou 2 sorties.
