SXPS
Système d’analyse de surface XPS et AUGER
Le système ME-SXPS 07 est un système d’analyse de surface multi-techniques Incluant un analyseur hémisphérique de haute résolution, un monochromateur de rayons X, une source d’ions et une source de rayons X de haute performance.
Il permet de réaliser des analyses de type :
- XPS, UPS, AES, SAM, ISS, LEIS
- Profil de profondeur
Cet équipement est composé des instruments suivants :
- Analyseur Specs Phoibos 150 à Haute Résolution
- Monochromateur X Specs Focus 500
- Source focalisée d’ions Specs IQE 12/38
- Source d’électrons Specs FG 15/40 pour la compensation de charge
- Plateforme d’analyse automatisée de très haut niveau
Conçue spécifiquement pour y intégrer les instruments nécessaires à l’analyse de surface, cette plateforme peut également recevoir d’autres instruments de mesure (7 brides sont laissées libres pour des extensions futures).
La chambre d’analyse est maintenue sous une pression de 10-10 mbar par un système de pompage ultravide complet.
Un manipulateur unique entièrement automatisé 5 axes permet de positionner l’échantillon dans toutes les positions nécessaires avec un très haut niveau de précision.
Equipé d’un dispositif de stockage pour 4 échantillons de 2’’, d’une porte à ouverture rapide, d’un translateur et d’une canne de transfert. Le système de manipulation des échantillons permet un chargement aisé dans le système (moins de 30 mn entre le chargement et les mesures).
